李亦平向前指了指,說道:“測試已經結束了,現在正在做結果評估,機器就在前邊。”
很快,他們就來到了一個單獨劃分出來的區域,一臺……或者分成許多部分的機器擺放在那,太大了,沒有外殼,各種線路跟內部結構都在那露著。
李亦平手指了指,說道:“這就是驗證裝置,當然,這並不是完整工作狀態,省去了很多部分。整個實驗目的有兩個,一是看技術原理是不是能夠實現,再有則是更直接的展現技術難點,方便明確接下來的技術研發重點。”
聽著李亦平的話,又看著眼前這一大堆東西,鄭誠也不由得感慨。這玩意就是光刻機啊!不,準確的說還只是有個大概模樣,相當於蓋房子剛打好地基架了梁。而就這些,他們已經忙了兩年多,團隊也從原本的幾十人,擴大到了現在的兩三百人。
“大規模積體電路製造的核心就在於光刻裝置,為了摩爾定律繼續發揮作用,必須想盡辦法提高加工精度。當初選中了光刻方式,現在也同樣。
根據瑞利公式:cd=k1(λna),我們能選擇的就是降低波長λ,提高鏡頭的數值孔徑na,降低綜合因素k1。不過,在零件加工精度逼近極限的情況下,擺在面前的其實只有一條路,選擇波長更短的光源。”
繞著這臺機器,李亦平看起來興致不錯,對著旁邊的鄭誠侃侃而談。
“目前看來比較有前途的就是鐳射,我們這次驗證的是248n的krf鐳射。一旦成功,將對整個電子產業產生重大意義。同樣大小的晶片,功能卻可能是幾倍十幾倍的增長。”
說到激動處,李亦平的手都不由得揮動起來,面對這種規模巨大的專案,實在很難讓人不激動。
連鄭誠也聽的心中震動,他當然知道,這都是真的。為什麼是九十年代網際網路興起?不是因為網際網路技術,更不是因為那些網際網路公司誕生,而是因為計算機硬體獲得了技術上的大幅度進步!怎麼進步的?是晶片更加強大。從根本來說,則是光刻精度的提高。
“李老師!那,這東西什麼時候能夠量產?”鄭誠立刻說道。
“也許……”李亦平的手本想比劃個數字,但還是放棄了。
“我也不知道。只能說難度很大,儘量不落後國際同行太多。這麼跟你說吧,如果高科技有所謂標準,那到了這一步,光刻機就算踏入高科技產業的門檻了!研發規模太大了,步步掣肘,快不得。”
鄭誠聽的有些發懵,他倒都聽得懂,大概原理也看過資料,可要說難度在哪?為什麼難?那他就不知道了。
憋了好一會也沒想出來一個有水平的問題,他只好說道:“那,現在實驗室這邊還需要什麼?”
他只有錢。
“很多!”李亦平目光有些凝重,說道:“比如鐳射光源,高精細度的反射鏡片,還有高解析度高精度光刻膠,等等很多東西。這麼說吧,一個完整優秀的產業鏈供應,而且大部分都是不能進口的。”
鄭誠點點頭,表示理解。他早知道光刻機複雜,原本就有心理準備,現在看比預想的還要好一些。再說了,又不是隻他們有困難,國外別的企業也還沒影呢。
再怎麼,現在起步也比以後要好的多,起碼還站在同一個起跑線上。不過,除了基礎弱了些,他也不是全無優勢,比如,可以持續不斷的高投入。在這個贏家通吃的行業,這一點很重要。
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