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第98章 深矽刻蝕工藝 (第2/3頁)

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而云麗和成興,被拉入小組,完全不知道背後的原因,比較忐忑,做事情也有些畏首畏尾。

由於相似的處境,兩個人最近有點抱團取暖的意思。

會議室。

看到樣品,感興趣的客人,紛紛離開座位,圍了過去。

“這不對吧。”

王工上上下下,裡裡外外的把樣品看個通透。

“什麼不對?”

冰飛的周總工,就在他的身邊。<es工藝,根本加工不出來吧。”

<es所採用的犧牲層工藝,根本加工不出如此的高深寬比、高垂直度。”

犧牲層技術工藝),1985年才被引入到半導體加工領域,“表面”微機械加工概念由此產生。之所以,1988年,震驚世界的微靜電馬達能夠問世,就是拜犧牲層技術所賜。

王工的專業性評價,大多數人沒有聽懂,但並不妨礙大家把目光投向陳泉,等待解釋。

“是的。這個陀螺儀,我不準備只採用犧牲層工藝。”

陳泉沒有絲毫慌亂。

記憶裡,陀螺儀採用的加工工藝,的確發生了變化。

之所以,陳泉要丟擲新論文,也跟加速度感測器論文,被《appied petters,應用物理快報》採用有些關係。<es有關聯的期刊裡,最好的一波期刊了。其sci影響因子超過了4。<es專業期刊,還沒有面世。)

按理,論文被確定採納,是件大好事,但陳泉和曲燕秋有點坐不住了。因為不論是他還是她,都沒有任何感覺。

前兩次的過關,陳泉和曲燕秋,都能明顯看到,或者感到一些不同。

例如第一次過關,曲燕秋被實質啟用,第二次,乾脆甦醒。可現在,沒有訊息,就是最壞的訊息。

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所以兩個人,不得不繼續拔高心理目標,把論文的層次,再推高一個檔次。

這次的目標,盯叮住了sce, science, nature),這三本頂級超一流期刊,一次就給他搞到位。

這種超一流期刊論文,在80年代末,不用多,只要有一篇,在國內,就可以開宗立派,直接成立專屬實驗室,乃至新的專業。

這個陀螺儀,以及它後面的工藝論文,就是陳泉和曲燕秋兩個人,精心選出來的目標。

.....

“不是犧牲層工藝?還有別的工藝嗎?我怎麼沒有聽說?”

王工眯起眼睛,重新打量起眼前的,年輕得不像話的青年。

“嗯,姑且算是我的發明吧。這次想申請的專利,就有它一個。”

國際專利申請的初期,花錢不算太多,交800到一千美元的報名費,就可以有12到18個月的獨佔期。沒有這個時間差,es專案組,支付不起加速度感測器的專利申請。

“這個工藝叫什麼名字?”

“嗯,叫.....”

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