寂靜的氣氛持續了有幾十秒,似乎連喘氣聲都清晰可見。
趙思遠看著手中這一沓檔案,一臉懵逼道:“張院長你沒在開玩笑吧?”
“光刻機?DuV技術光刻機?我們幾時有這一種技術了?”
別說浸潤式DuV光刻機,更別說什麼32nm的製程,目前他們夏微電子也只能做到90nm製程的投影式光刻機罷了。
&n的DuV光刻機技術?這是在開哪門子的玩笑?
都不能算是跨越式發展了,而是直接一飛沖天到了外太空。
“你先看看就知道了。”張予理頷首笑道。
“那我先看看吧.”
趙思遠擰巴著眉頭,帶著疑惑開啟了這一份檔案。
看面倒是沒有介紹什麼研製方式,畢竟那實在是太過於繁瑣了,而是一些十分簡單的綜述。
然而,既然如此他只是瞥了一眼上面寫的描述,立刻臉上呆滯住了。
&nm*8mm狹縫掃描,令晶圓片與掩膜版同步動態掃描.使其達成26mm*33mm曝光場.技術實施路線為:.
利用多重曝光技術.三重曝光(LeLeLe)使其拆分為多個掩膜版上,使其影象雕刻密度迭加,工藝製程成倍提升,實施手段為:
.
儘管只是粗略的看了幾眼,但是從這些綜述上而言他並沒有發現太大問題。
趙思遠迅速翻閱了下面幾十頁的草稿紙,整個人瞬間沉浸於這茫茫多的公式與介紹當中。
時間一分一秒的過去,他每翻閱下一頁的速度就會更加的緩慢,甚至有時候還會盯著幾個公式琢磨大半天。
旁邊的張予理和鄭立行兩人倒是沒有著急,倒上兩杯茶水慢慢自酌自飲起來。
直到時間過去了近乎兩個小時,趙思遠才粗略的看完了大致內容。
臉上帶著濃郁的震撼與震驚:“這這是真的?”
&n竟然是真的32nm工藝光刻機?
&nsL公司的人綁架了嗎?難道我們大夏也效仿鷹醬了?
“小趙,這份技術怎麼樣?”鄭立行挑了挑眉。
這可是‘長城守望’組織傳送過來的技術,那還能有假的不成?
別說什麼DuV光刻機技術了,他們現在就算是傳送‘火星載人飛船’技術給他們,大夏都會選擇先‘相信’再‘質疑’!
“實現的可能性相當大”趙思遠眉頭緊皺,思索許久後緊接著說道:“哪怕32nm製程實現不了,但是65nm甚至45nm完全國產化應該沒有問題。”
儘管這僅僅只是‘光刻機’技術的目錄而已,但是以他的眼界看來,上面所闡述的內容應該大致屬實。
&n DuV光刻機’,也能給夏微電子提供許多寶貴的經驗,突破45nm製程的時間將會大大提前。
聞言。
瞬間,張予理的臉龐上大喜過望:“我馬上把這一份技術的全套技術圖逐步傳送過去,你們夏微電子務必抓緊進行研發。”
“有任何的需求隨時稟告我們,爭取在最快時間把工藝製程突破到32nm!”
高階晶片對於大夏而言實在太過於重要,只要涉及任何尖端產業就不可能離得開這個,高階產業鏈更不可能脫離半導體的影響。
畢竟現代社會,是建立在高度資訊化的框架之下,甚至未來大夏要進軍‘智慧手機’‘電動汽車’等等領域,更是需求運算速度優秀的晶片。
大夏整個半導體產業的通力配合,都必須要把這玩意給造出來才行。