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第八十九章 :範學東 (第2/2頁)

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說到這裡,他又用筆指著另一個圖示說道:“到了這一步,就必須在氬氣環境內進行下一步了,因此,我們必須把去油、清洗和烘幹這三個步驟整合到整個系統裡面。防止矽晶棒暴露在空氣中而被氧化。”

“等等,郭部長,清洗和烘幹這兩個步驟,光刻機、離子注入機和cvd機都要用到,而且你還忘了,回火這個步驟,單矽晶棒在切薄片的時候,因溫度過高的原因會變形,因此需要回火。”範學東畢竟是專業人士,比他們更瞭解整個製程工藝。因此出言提醒了郭東。

“謝謝你的提醒!範先生。”郭東不知如何稱呼他的職務,只好叫他先生了。

“沒什麼,我們不是一起解決問題嘛!”

範學東搖著手,客氣道。

“好!既然是這樣,那我們就把烘幹爐和回火爐集合成一體,只需要加一個溫度調節就解決了。”郭東用拿筆的右手重重地捶了一下桌子說出了自已的想法。

說完他又皺起了眉頭,然後像自言自語地說道:“不過這樣一來,老闆說的一條軌道遠遠不夠,長長短短可能要十多條,像一條複雜的鐵路系統了。只不過很短吧了。”

“我想的也差不多,整套系統絕不簡單,我們要把裡裡外外都考慮清楚了,再開始設計,盡量減少不必要的錯誤。”盧汝成是在場地位最高的,還超過了他以前的頂頭上司郭東,因此他沒有顧慮的發表了自已的意見。

“嗯!盧總說得不錯,那我們休會一個小時,大家都思考思考。”郭東作為主人,作了決定。

郭東說完,大家都找座位坐下。每個人都在拼命地思考,在心裡描繪出整個系統的雛形,設想怎樣才更合理。

“咚咚”過了一個小時,郭東準時敲響了桌子,將大家從思考中驚醒過來。

他見大家都注意到了自已就開始說道:“由於人數較多,就不一個個發言了,時間不允許。我說出我的想法,有什麼不對的大家補充。”

他沒等大家回答,組織了思路就開始說了:“我把去油、清洗、烘幹和切片整合在一條軌道上,具體步驟按我說的順序來。切完的矽片通機械臂輸送到烘幹室也就是回火爐回火,然後再送到對面的打磨機。並且機械臂的託盤必須要是真空吸盤,因為矽片很薄,不能用機械的方式傳輸,否則會損傷矽片。同理打磨託盤也要是真空吸盤式,肯定不能用卡鉗的方式,否則損傷更大。上膠機必須設計兩部,兩種不同的膠不能混和在一起,否則會有互相沾染的危險。最重要的是上完膠要有一個烘幹的步驟,這裡也要用機械臂直接輸送不用設軌道。因此必須把兩臺上膠機都佈置在對面。兩臺上膠機和打磨機體積都不大,可以佈置得很緊湊。

又因為各個步驟都要檢測,因此我們可以把機械臂執行的軌道用玻璃封閉,方便使用電子顯微鏡檢測。

我設想的大體系統架構就是這樣,具體到每部機器再具體設計。大家有什麼補充的就說一下。”

說完他就坐到。,將位置讓了出來。

“咳咳”盧汝成見其它人都不說,就咳嗽兩聲,開始發言:“我認為郭部長的設想已經非常完善了,我只補充一條,還需要一個單獨的光刻膠腐蝕步驟。因為光刻機會進行多次光刻,那麼就要進行多次的上膠去膠,因此,有必要設計一個單獨的去膠室。”

說完這些他就不再說了,把時間讓給別人了。其實到了這一步已經非常完善了,大家沒什麼好補充的了。因此一下子冷場了。

郭東見大家不再發言,就又站起來說:“既然大家不再補充啦!那我們就散會吧!吃飯時間到了,我們公司食堂的飯菜很好的,大家都知道的。哦!瞧我,範先生是客人不知道。罪過罪過!”

說完他調皮的對範學東雙手作揖。

“哈哈哈哈!”大家又開心的大笑起來。

一個有能力的人,總是會想辦法調節氣氛。而郭東就是這樣的人。

未完待續……

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