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第三百二十九章 劉工 (第1/2頁)

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無線電廠晶片製造車間裡,南園電子廠的三十名工程師仍然在跟著劉工努力學習著光刻機的使用技巧。

或許當初看光刻機使用步驟會覺得非常簡單,無非就是塗膠、曝光、沖洗,最後刻蝕完事,這能有什麼難的?可當後來劉工分步驟的一步步給他們講解,才讓他們明白這裡面的門道有多深。

就拿第一步的塗膠來說,字面意思就是給矽片上塗一層光刻膠,因為光刻實際就是刻的這些光刻膠,而不是矽片。

這些光刻膠被特定波長的光照就會被溶解清除,再放進特定的化學溶劑裡浸泡,最終得出自己想要的矽片,一次光刻就此完成。

聽起來好像很簡單,可塗膠不是攤煎餅果子,也不會允許你拿個小鏟子給光刻膠抹勻,事實上那樣也根本抹不勻。

一般都是透過高速旋轉利用離心力的作用完成,雖然期間絕大部分的光刻膠會被甩出去浪費掉,但卻能保證光刻膠的絕對均勻。

“但就算這樣你仍然不能保證把光刻膠塗好,因為膠體在離心力的作用下很容易在矽片周圍堆積甚至是流到背面,我們為了避免這種情況,在塗光刻膠的同時要進行不斷的吹風,最後還要進行去邊處理。”

聽著劉工的講課,大多數工程師都很蒙圈,他們很久沒有這麼高強度的學習,注意力有點跟不上了。

除此之外他們也是真沒想到光刻能這麼複雜,這還只是第一步的塗膠,還沒開始光刻呢,就這麼複雜了?

劉工倒是很能理解他們的狀態,畢竟隔行如隔山嘛,尤其還是晶片製造這種尖端精密技藝,他們要是能講一遍就學會,那才真逆天了。

這時有一個人卻疑惑舉手:“劉工,我記得你之前說過塗光刻膠就等於是給矽片貼一層膜,可你現在又說要吹風,這不是自相矛盾嗎?就算潔淨室裡沒有灰塵,可裡面要是出了氣泡也同樣很麻煩吧?”

被人舉手提問,劉工不僅不惱火,反而很高興,這說明他是真聽進去了。

他看過去,果不其然是他們的領頭人張本松。

“你說的不錯,一旦光刻膠裡產生了氣泡,就會引發諸如過度刻蝕等一系列問題,但吹風同樣也需要,而所有一切的關鍵,就是轉速。”

劉工告訴張本松,不管是光刻膠的攤開擴散還是抹勻,以及最後的吹風,都需要和轉速相配合,劉工在黑板上寫下幾個數字:“這是我自己總結出來的配合數字,當然這隻能作為參考,具體你們需要在實際操作中自行摸索。”

“其實在最後吹風的時候,我們就需要對矽片進行第一次烘培,烘培同樣要是作為塗膠的重要步驟,因為只有烘培,才能讓液體狀態的光刻膠徹底粘附在光滑的矽片上,也能讓光刻膠定型,不至於影響下一步的光刻。”

“同時更重要的,烘培也是在光刻不到位的時候,作為修補的重要手段……”

也不管張本松和其他有沒有聽明白自己之前的講解,劉工就直接跳過塗膠進入烘培步驟,這不是劉工摸魚走過場,而是張本松他們要求的。

畢竟現在時間已經過去一半,要是都跟之前對矽片打磨以及製作光掩模一樣,都等他們瞭解聽進去了再下一步,他們根本沒辦法在剩下半個月完全掌握光刻技術。

因此張本松找到劉工,讓他就自顧自講,至於自己這些能能不能聽進去掌握,就是自己這些人的本事。

劉工現在就是這麼做的。

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